18-07-17, 13:01
ASML boekt met nieuwe lichtbron vooruitgang in EUV technologie.
VELDHOVEN - Het staat al minimaal vijftien jaar op de verlanglijst van ASML: een EUV (extreem ultraviolet) lichtbron met genoeg vermogen. Vorige week mocht Michael Lercel, ingenieur bij ASML San Diego, aankondigen dat het gelukt is. Bij het in 2013 door ASML overgenomen Cymer hebben ze uit een uit de kluiten gewassen zaklantaarn eindelijk 250 watt aan EUV-licht gekregen. Daarmee lijkt dit obstakel, de hoofdoorzaak van al die jaren vertraging van deze technologie, eindelijk geslecht.
Die enorme zaklamp met het fragiele licht is nodig om de EUV- machine nog fijnere chips te laten maken. De piepkleine patroontjes op die chips worden in de machines van ASML met licht getekend. Met het tot nog toe gebruikte licht kunnen de klanten van ASML geen stappen meer zetten in het verkleinen van patronen op chips. Vandaar dat de EUV-technologie nodig is.
Doorbraak Tercel zei op de beurs dat de EUV-machine dankzij de doorbraak meer dan 125 chipschijven (met ieder honderden chips) per uur kan beschrijven. Dat maakt de EUV-technologie voor steeds meer types chips rendabel. Om chips met details van 7 nanometer (miljoenste millimeter) of kleiner te krijgen moeten de chipschijven drie of vier keer of nog vaker belicht worden door een oude machine. De EUV-machine kan dezelfde details in één ronde schrijven.
Het zal de volgers van de nieuwe technologie sterken en twijfelaars mogelijk over de streep trekken. Dat vertrouwen was al best groot gezien de snelle groei van het aantal bestellingen van EUV-machines bij ASML. Drie maanden geleden stonden er al 21 machines van 110 miljoen euro per stuk in het orderboek. Verwacht wordt dat morgen, bij de presentatie van de tweedekwartaalcijfers, dat aantal weer flink gestegen zal zijn. Chipfabrikant Samsung zou er negen willen en zo waren er meer berichten van klanten die over willen gaan op EUV-technologie.
Tegengeluiden Toch waren vorige week ook nog steeds tegengeluiden te horen. Dat was dan vooral van bedrijven die geen EUV-producten verkopen, zoals de Japanse concurrenten Nikon en Canon. Zij legden de nadruk op hogere kosten op het moment dat met een EUV-machine dubbel belicht moet worden. ASML werpt tegen dat dit hooguit moet als de details nog kleiner worden. Met Nikon ligt ASML al flink in de clinch over patentschendingen, dus daar kan dit ruzietje ook nog wel bij.
Zie ook: Meetsysteem van HMI gaat ASML extra omzet opleveren
Intussen lijkt het erop dat ASML zijn mouwen voor de komende jaren flink op moet rollen. De planning om dit jaar twaalf, volgend jaar 24 en in 2019 48 EUV-machines af te zetten zou wel eens gehaald kunnen worden. Ook de afzet van andere machines en de onlangs vernieuwde randapparaten en -software zit nog steeds in de lift. Die verhoogde afzet zorgt voor enorme druk op de logistiek bij de chipmachinefabrikant. Grote hoeveelheden moeten er binnengebracht worden om enkele maanden later in elkaar gezet tot machines weer het bedrijf te verlaten. Om dat in goede banen te leiden wil ASML aan de achterzijde een enorme hal bouwen waar de vrachtwagens makkelijk gelost en geladen kunnen worden. Aanvankelijk zorgde dat voor de afsluiting van de Runstraat en het bijbehorende viaduct onder de snelweg A67. Omdat de omgeving van ASML daar niet blij mee is, werkt het bedrijf nu aan een nieuw voorstel.